表面纳米技术是纳米材料技术与表面技术相交叉的高新技术，指通过表面技术处理纳米材料，使金属或非金属表面形成纳米层。这种纳米层具备高硬度、耐磨、耐腐蚀和耐高温等特性。

　　这种纳米层的组成物质被称为表面纳米物质。表面纳米物质是未来半导体产业的尖端材料，高精度显微技术是研究这种尖端材料的首要工具。然而，普通的显微设备都会探测进入物体内部，不可能只对表面的纳米层进行观测，这影响了观测的精度。

　　根据原子能研究开发机构日前发布的新闻公报，该机构一直致力于开发正电子束显微技术。由于电荷的斥力，带正电荷的正电子束难以进入物体内部，而是在物体表面被全部反射。利用这一特性，科学家开发出了这种显微新技术。

　　据研究人员说，他们在试验中利用正电子束照射覆盖在硅表面厚约0.2纳米的超薄银膜，并完全看清了这种表面纳米物质的原子排列。